Компьютерра, 2008 № 05 (721) | страница 20

В Nikon предполагают, что в фотолитографическом процессе следующего поколения слой фоточувствительного материала на полупроводниковой пластине будет засвечиваться не через теневую маску, а непосредственно, отражаясь от микромеханических зеркал (вроде тех, что сейчас используются в проекторах). Эта технология обещает существенно ускорить и удешевить массовое производство некоторых полупроводниковых приборов, остается только создать достаточно быстрые микромеханические зеркала с приемлемым разрешением и приемлемой суммарной площадью.

Новое устройство усеяно расположенными встык ромбиками - микрозеркалами из алюминия площадью по 16 кв. мкм. Каждый ромбик соединен с гибкой верхней пластиной миниатюрного конденсатора, которая тоже изготовлена из тонкого слоя алюминия, покоящегося между двумя слоями нитрида кремния. Нижняя пластина этого конденсатора расположена на подложке на расстоянии всего 250 нм под верхней. Если на обкладки конденсатора подать напряжение, то верхняя пластина притянется к нижней, прогнется и отклонит прикрепленное к ней зеркальце. Время переключения определяется временем затухания колебаний в новом положении этой механической системы, резонансная частота которой достигает 1,7 МГц. Для затухания колебаний на этих масштабах хватает вязкости увлекаемого пластинами и зеркальцем воздуха: на все про все уходит лишь три микросекунды. Конкурирующим устройствам требуется на это больше десяти микросекунд. ГА

В этом году лауреатами престижной премии Вольфа по химии стали американские ученые: Уильям Морнер (William Moerner) из Стэнфордского университета и Аллен Бард (Allen Bard) из Техасского университета в Остине.

Премия Вольфа в размере ста тысяч долларов присуждается с 1978 года одноименным фондом, учрежденным в 1976 году дипломатом и изобретателем Рикардо Вольфом (1887–1981) и его женой Франциской. Этой награды ежегодно (иногда с перерывами) удостаиваются ученые (математика, физика, химия, медицина, сельское хозяйство) и деятели искусства (живопись, музыка, архитектура, скульптура) "за достижения на благо человечества и укрепление мира". Премия вручается президентом Израиля (в этом году Шимоном Пересом) на специальной церемонии Кнессета (парламента Израиля) в Иерусалиме. Лауреаты премии отбираются международным комитетом, который формируется заново каждый год. По своему значению премия Вольфа нередко считается второй после Нобелевской.