Рис. 4.7. Модернизированный интерферометр Майкельсона: 1 – лазер; 2, 3, 4 – оптические модули; 5 – уголковый отражатель; 6 – фотоприемник
Чем сложнее система, тем проще ее патентовать. Проблема заключается в том, чтобы ее изготовить и обеспечить требуемые характеристики.
Помимо основных сложных систем для обеспечения процесса рентгенолитографии необходимо было разработать большое количество вспомогательных узлов: интерферометров, модуляторов, сканеров, транспортеров и т. д. Например, в интерферометре (рис. 4.7) лазер 1 формировал посредством оптических модулей 2, 3, 4 и уголкового отражателя 5 совмещенный оптический сигнал на фотоприемнике 6, характеризующий перемещение отражателя 5, перпендикулярное оси лазера 1. Этот интерферометр измерял перемещение сканирующих устройств, изображенных на рис. 4.2, 4.3, 4.4 и должен был иметь уменьшенные габариты в отличие от классического интерферометра Майкельсона, что и определило возможности его патентования [21] благодаря использованию одного уголкового отражателя 5.
В интерферометре (рис. 4.8) не было необходимости бороться за габариты, а вот повышенная точность измерения была необходима и достигалась благодаря тому, что луч от лазера 1, используя полупрозрачные зеркала 2 и 3 и отражаясь от смещенных на величину А уголковых отражателей 4 и 5, формировал увеличенное перемещение отражателя 4, перпендикулярное оси лазера 1, что и фиксировал фотоприемник 6 [22].
Рис. 4.8. Интерферометр с повышенной точностью измерения: 1 – лазер; 2, 3 – полупрозрачные зеркала; 4, 5 – уголковые отражатели; 6 – фотоприемник
Рис. 4.9. Модулятор:
1 – пьезобиморф; 2 – корпус; 3,4 – направляющие; 5 – плоская пружина; 6 – шторка
В модуляторе света (рис. 4.9) пьезобиморф 1, закрепленный в корпусе 2, благодаря использованию направляющих 3 и 4, в которых проскальзывала плоская пружина 5, отклонял шторку 6 на величину, более чем в 10 раз превышающую перемещение пьезобиморфа 1 [23]. Это необходимо в устройствах совмещения для уменьшения габаритов оптических модуляторов.
Описанные устройства [21,22,23] должны были быть адаптированы ко всему рентгенолитографическому комплексу и благодаря этому имели оригинальное исполнение. Интерферометры [21,22] при сохранении простоты конструкции обеспечивали требуемую точность оценки перемещения. Модулятор [23] при минимальных габаритах обеспечивал достаточный диапазон перекрытия световых каналов.
Следует также заметить, что в сложных системах со специфическими требованиями патентование возможно вплоть до мельчайших элементов,
