Рис. 4.4. Разделенная система совмещения: 1 – реперные знаки подложки; 2 – подложка; 3 – реперные знаки РШ; 4 – рентгеношаблон; 5 – оптическая система; 6 – сканирующее устройство; 7 – маска; 8 – анализатор; 9 – оптический модуль; 10 – модуль анализа грубого рассовмещения
Рис. 4.5. Система совмещения на основе зонных площадок Френеля:
1 – рентгеношаблон; 2 – линза Френеля; 3 – модулятор; 4 – лазер; 5 – луч лазера; 6 – реперный знак подложки; 7 – подложка; 8 – фотоприемник; 9 – система приводов
В результате разделения каналов грубого и точного совмещения была повышена точность анализа за счет того, что точное совмещение можно было проводить в меньшем диапазоне. Патентование таких устройств и способов не вызвало проблемы, так как в каждом пришлось решать большое количество новых задач.
Кроме этого, появились принципиально новые методы совмещения. Такие, например, когда на РШ 1 (рис. 4.5) формировалась линза Френеля 2, состоящая из прозрачных и непрозрачных участков, расположенных с переменным шагом. На нее с использованием модулятора 3 от лазера 4 подавался качающийся луч 5, который фокусировался линзой 2 и сканировал реперный знак 6 подложки 7. Этот знак мог состоять из нескольких дифракционных решеток, сигнал от которых фиксировался фотоприемником 8 [16]. Таким образом оценивалось рассовмещение РШ 1 относительно подложки 7, которое отрабатывалось системой приводов 9.
Патентование таких систем, очевидно, не вызовет трудностей также по причине решения большого количества решаемых проблем. Это поддержание зазора между РШ 1 и подложкой 7, как минимум в трех точках, анализ трех реперных знаков 6 подложки 7, отработка рассовмещения по плоскости подложки 7 и по углу разворота в этой плоскости, термостабилизация, замена подложек и многое другое.
Также оригинальным решением было использовать сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) для совмещения рентгеношаблона 1 (рис. 4.6) с подложкой 2. В этом случае на РШ 1 формировались кантилеверы 3, которые фиксировали рассовмещение реперных знаков 4 подложки 2 относительно РШ 1 [19, 20]. Система приводов 5 отрабатывала рассовмещение и поддерживала зазор между РШ 1 и подложкой 2. Здесь ко всем перечисленным проблемам предыдущей системы добавлялось особо точное поддержание этого зазора для обеспечения функционирования работы СЗМ.
Рис. 4.6. Система совмещения на основе СЗМ: 1 – рентгеношаблон; 2 – подложка; 3 – кантилевер; 4 – реперные знаки подложки; 5 – система приводов
