16. А.С. СССР № 1385843. Система реперных знаков для совмещения шаблона с пластиной, способ совмещения шаблона с пластиной и устройство для совмещения шаблона с пластиной. 18.01.1986.
17. Лаймен Д. Работы по созданию установки рентгеновской литографии. – Электроника, 1986, т. 59, № 6, с. 45–52.
18. Патент US5150392. X-ray mask conteining a cantivelevered tip for gap control and aligment. 09.09.1991.
19. Патент US5508527. Method of detecting positional displacement between mask and wafer,and exposure apparatus adopting the method. 09.01.1994.
20. Полнопольная рентгенолитографическая установка MX-15.– Дэнси дзеире, 1986, т. 58, № 25, с. 77–81.
21. Заявка JP60-208828. Установка для рентгеновского экспонирования. 02.04.1984.
22. А.С. СССР № 1578457. Интерферометр для измерения линейных перемещений. 08.01.1988.
23. А.С. СССР № 1578458. Интерферометр для измерения линейных перемещений. 08.01.1988.
24. АС. СССР № 1550457. Модулятор света. 08.01.1988.
25. АС. СССР № 1823045. Разъем. 06.02.1991.
26. Егоров В.К., Егоров Е.В. Явление радиационной сверхтекучести и его применение в сфере высоких технологий. – Высокие технологии, 2005, № 4 (24), с. 7–11.
Глава 5 Обычные устройства с элементами нанотехнологий
Сначала нанотехнологии стали использовать в высокотехнологичных устройствах и процессах, но через некоторое время они перешли в область обычных технологий и бытовые приборы.
При патентовании таких решений есть свои особенности. В том случае, если нанопризнаки кардинально улучшают характеристики устройства, то их присутствие в независимом пункте формулы изобретения уместно. При этом не лишним будет привести литературные ссылки с подробным описанием этих признаков, чтобы эксперту, не специализирующемуся в области высоких технологий, было проще разобраться в сущности устройства. Однако, если разработка и так самодостаточна без использования нанопризнаков, то нет необходимости (например, ради рекламы) вводить их в независимый пункт формулы изобретения. Иначе конкуренты не совсем обязательный нанопризнак могут не использовать и выйти из под действия такого патента.
Проиллюстрируем это на следующем примере. В патенте [1] описана электродуговая плазменная горелка, которая в качестве основных блоков содержит сопло 1 (рис. 5.1) и камеру для хранения рабочей жидкости, состоящую из первого 2 и второго 3 резервуаров. При разработке этого устройства выяснилось, что использование супертонкого базальтового волокна 4 в первом резервуаре 2 существенно увеличивает срок эксплуатации. При этом во втором резервуаре может быть практически любой влагопоглотитель 5.
