12 декабря Робеспьер выступил против Анахарсиса Клотца, который, вместе с Шометтом, предложил заменить католицизм «культом Разума». Началась очистка клуба якобинцев: Клотца и его друзей исключили из клуба. Некоторые источники утверждают, что благодаря Робеспьеру, даже в самый разгар террора католическое богослужение продолжалось; в соборе Notre-Dame молились за Робеспьера; цензура строго следила за атеистическими сочинениями и нападками на церковь. По другим данным, в это время были закрыты все храмы Парижа и на большей части Франции, подконтрольной революционному правительству. А в соборе Парижской Богоматери богослужения никак не могли происходить, так как храм был осквернён мятёжной толпой и в нём неоднократно устраивались вакханалии.
К концу 1793 года роялисты были подавлены, вандейская армия уничтожена, федералисты рассеяны; однако, для удержания за собой власти, Робеспьеру необходимо было уничтожить фракцию эбертистов, которая намеревалась подчинить себе комитет общественного спасения. За эбертистами должен был погибнуть Дантон, так как он мог положить конец террору и организовать республику.
Робеспьер опасался и Камилля Демулена, который в своем журнале «Le vieux Cordelier» остроумно осмеивал учрежденный Робеспьером комитет справедливости, противополагая ему комитет милосердия. Когда между крайними, то есть эбертистами, девизом которых был террор, и умеренными, то есть дантонистами, требовавшими милосердия, произошёл явный разрыв, Робеспьер занял середину между ними и выставил девизом справедливость, поддерживаемую, однако, путем террора.
25 декабря Робеспьер произнес речь против эбертистов и дантонистов, где говорилось о необходимости направлять корабль между двумя подводными камнями – умеренностью и излишеством.
5 февраля 1794 года он прочитал в конвенте доклад «об основаниях политической нравственности», доказывая опасность существования двух партий. «Одна из них толкает нас к слабости, другая – к крайностям», необходим террор, который, по определению Робеспьера, есть «быстрое, суровое и непреклонное правосудие».
14 марта были арестованы, а 24-го казнены 21 эбертист. 31 марта были арестованы Дантон, Демулен, Лакруа, Филиппо. Перед началом суда над ними конвент, по предложению Робеспьера, декретировал, что каждый обвиняемый, противящийся судьям, будет лишен слова. 5 апреля Дантон и Демулен были казнены.
Настало время личной диктатуры Робеспьера. На другой день после казни было объявлено, что приготовляется празднество в честь Верховного Существа
